Автоматическое тестирование параметров силовых полупроводниковых приборов, в том числе с широкой запрещённой зоной (SiC, GaN)

Полностью автоматическое тестирование высоким напряжением на уровне пластины

Повышение производительности, сокращение затрат на тестирование

Сокращение расходов на тестирование, повышение производительности

В стандартных системах тестирования, применяемых для проверки надёжности на уровне пластин (WLR), мониторинга технологических процессов (PCM) и сортировки кристаллов, отсутствуют такие показатели, как динамический диапазон и разрешающая способность измерительной системы, необходимые для соответствия новым требованиям к производительности (более высокое напряжение, более низкие токи утечки и сопротивление во включённом состоянии), либо в этих системах при переходе от тестирования низким напряжением до высокого требуется длительное переключение контактов вручную. Достичь целей по эффективности производства можно, исключив затраты времени на ручное переключение между двумя отдельными системами тестирования — низким напряжением и высоким напряжением. И только система Keithley может выполнять полностью автоматическое тестирование напряжением до 3 кВ на уровне пластины за одно касание пробника.

Позволяет переходить от тестирования высоким напряжением до тестирования низким напряжением, не меняя настройки.

Все тесты высоким и низким напряжением выполняются за один цикл, без замены оборудования или изменения настроек тестирования. Система, работающая как источник напряжения, покрывающий весь диапазон (до 3 кВ), и имеющая разрешение по току менее 1 пА, исключает необходимость в изменении настроек тестирования или использовании двух отдельных систем при переходе от тестирования на пробой высоким напряжением до низкого напряжения. Сведение к минимуму проблем с подключениями, возникающих из-за ручного подсоединения кабелей и пробников. Сокращение количества ложных отказов благодаря высокому качеству измерений. Высокая надёжность и достоверность результатов тестирования позволяет корректировать производственные параметры для получения максимально возможного выхода продукции.

В этом тесте на пробой напряжение повышали до 1800 В, используя два разных приращения скорости: 20 мс и 100 мс на шаг. При более низком приращении скорости (большем времени задержки) измеряемый ток повышается от 100 пА до 1 нА. При более высоком приращении скорости большая часть тока — это ток смещения (~1 нА).

Измерение ёмкости без повторного переключения контактов вручную

Система обеспечивает автоматизацию всех измерений ёмкости, в том числе сложных измерений элементов с 3 выводами. Полная автоматизация измерений ёмкости элементов с 2 выводами или транзисторов с 3 выводами позволяет быстро оценить параметры переключения, такие как скорость, энергия и заряд, используя матричный переключатель высокого напряжения Keithley.

Проведение измерений ёмкости транзистора
(Ciss, Coss и Crss) при напряжении до 3 кВ без изменения конфигурации контрольных контактов вручную

Быстрая автоматизация

Зависимость чувствительности от стандартной длительности теста (времени на подключение, подачу напряжения и измерения) при разных уровнях тока.

Свести к минимуму время, затрачиваемое на тестирование, максимально повысить производительность и снизить затраты на тестирование можно при помощи технологии выполнения сценариев тестирования (TSP) компании Keithley и интерфейса TSP-Link, обеспечивающего высокоскоростной запуск, внутреннюю синхронизацию и синхронизацию всех элементов системы.

Загрузки
Загрузить

Загрузить руководства, технические описания, программное обеспечение и т. д.:

Go to top