Система параметрического тестирования Keithley

Система параметрического тестирования Keithley

Системы параметрического тестирования S530 предназначены для применения на производстве и в лабораториях, в которых используются самые разнообразные устройства и технологии, обеспечивая лучшую в отрасли гибкость при разработке плана тестирования, автоматизацию, интеграцию зондовых станций и возможности управления результатами испытаний. Компания Keithley имеет более чем 30-летний опыт поставки разнообразных стандартных и специальных параметрических тестеров клиентам во всем мире для разработки различных устройств.

Система приемки на уровне пластины S535  — это высокопроизводительное решение для тестирования на уровне пластины с высоким разрешением. Подходит для тестирования любых аналоговых, цифровых, силовых и гибридных устройств. В отличие от традиционных асинхронных параллельных схем тестирования, которые одновременно тестируют несколько устройств в одной точке, в системе S535 реализованы тесты с использованием мультипараллельного метода, когда одновременно выполняется тестирование нескольких устройств в нескольких точках. При этом длительность рабочего цикла датчика уменьшается не менее чем в два раза, а это значительно повышает производительность при снижении затрат на тестирование.

Система параметрического тестирования 540  — это полностью автоматизированная система с 48 контактами для тестирования силовых полупроводниковых устройств и структур на уровне пластины до 3 кВ. Оптимизированная для использования с современными материалами на основе полупроводниковых соединений, включая карбид кремния (SiC) и нитрид галлия (GaN), полностью интегрированная система S540 позволяет выполнять все высоковольтные, низковольтные измерения, а также измерения емкости в одно касание пробника.

Комплексные параметрические тестеры S500  — это конфигурируемые системы приборов для определения характеристик полупроводников на уровне устройства, пластины или кассеты. Разработанные на основе проверенного оборудования, комплексные параметрические тестеры S500 обеспечивают новаторские возможности измерений и гибкость системы, масштабируемой в соответствии с задачами заказчика. Уникальные возможности измерений и мощное программное обеспечение Automated Characterization Suite (ACS) обеспечивают широчайший диапазон применения и возможностей, недостижимый для других аналогичных систем на рынке. 

Thumbnail

Диапазон базисных цен
-
Купить/Запросить цену Questions? Chat Now
Система параметрического тестирования Keithley

Функции S530

  • Легко адаптируется к новым требованиям к устройствам и испытаниям
  • Быстрая, гибкая, интерактивная разработка плана испытаний
  • Совместимость с популярными, полностью автоматизированными зондовыми станциями
  • Опции для диапазона 1 кВ, снятия вольт-фарадной характеристики, генерации импульсов, измерения частоты, низковольтных измерений
  • Совместимость с адаптером Keithley 9139A для зондовых станций
  • Поддержка использования существующих библиотек для 5-дюймовых карт пробника
  • Надежные приборы обеспечивают высокую точность и повторяемость измерений в лабораториях и на производстве

Особенности системы S535

  • Автоматически выполняет все параметрические тесты на уровне пластины одновременно в нескольких точках или последовательно. Выполняет тестирование в двух или в четырех точках за одно касание пробника.
  • До 64 тестовых контактов: четыре тестовые точки в параллельном режиме (по 16 контактов на точку), две точки в параллельном режиме (по 32 контакта на точку) или последовательная работа (64 контакта)
  • Мощность до 100 Вт (100 В при 1 А или 200 В при 100 мА)
  • Разрешение 1 фА, 10 нВ при высокоскоростном многоконтактном полностью автоматическом тестировании
  • Системное программное обеспечение Keithley Test Environment (KTE) на базе Linux обеспечивает совместимость с ранними системами тестирования Keithley, удобную разработку тестов и быструю их реализацию.
  • Инфраструктура платы пробника как в системе Keithley S530 обеспечивает совместимость с унаследованными системами S400

Функции S540

  • Автоматическое проведение всех параметрических тестов на уровне пластины с использованием до 48 контактов, в том числе измерений высокого напряжения пробоя, емкости и низковольтных измерений в одно касание пробника без замены кабелей или инфраструктуры зондовой платы
  • Проведение измерений емкости транзистора (Ciss, Coss и Crss) до 3 кВ без изменения конфигурации контрольных контактов вручную
  • Обеспечение эффективности измерений низкого уровня в высокоскоростной, многоконтактной, полностью автоматизированной тестовой среде
  • Системное программное обеспечение Keithley Test Environment (KTE) на базе Linux обеспечивает удобную разработку тестов и быструю их реализацию
  • Идеально подходит для полностью или наполовину автоматизированных приложений, применяемых в интеграции процессов, мониторинге технологических процессов и промышленной сортировке кристаллов
  • Снижение стоимости владения за счет минимизации времени тестирования, времени настройки для испытания и занимаемой площади при обеспечении производительности измерений лабораторного класса

Особенности S500

  • Технические характеристики полнофункционального источника-измерителя (SMU), включая измерения в субфемтоамперном диапазоне, обеспечивают широкий диапазон измерений почти на любом устройстве.
  • Генерация импульсов и измерение вольт-амперных характеристик в импульсном режиме для тестирования памяти, накачки заряда, анализа количества ловушек заряда, предотвращения саморазогрева (импульсный режим со свипированием).
  • Мало- или многоканальные системы, включая параллельное тестирование, с масштабируемыми системными источниками-измерителями Keithley.
  • Высоковольтные, сильноточные и высокомощные источники-измерители для тестирования таких устройств, как мощные полевые МОП-транзисторы и устройства управления дисплеем.
  • Коммутаторы, платы пробников и кабели обеспечивают полное подключение системы к проверяемому устройству.

Модели

S530 KTE Pulse Generator Manual
KIGEM Automation Software Release Notes
Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test system provides an interface that complies with both the traditional SECS/GEM standards and the newer set of 300mm SEMI standards. It allows S530 systems to be…
Номер по каталогу: KIGEM-910-01B
Release Notes
KIGEM Automation Software Reference Manual KIGEM is implemented using a ConX300 driver that complies with the following SEMI standards: E5…This document is intended for use with the Keithley Instruments S530 Parametric Test System.
Номер по каталогу: KIGEM-901-01B
User
KIGEM Automation Software User's Manual Keithley Instruments 300mm SECS/GEM Automation Interface (KIGEM) on the S530 Parametric Test…This manual is the user's manual for KIGEM Automation Software.
Номер по каталогу: KIGEM-900-01C
User
Model 9139B-PCA Probe Card Adapter Instruction Manual Model 9139B-PCA Probe Card Adapter Instruction Manual
This manual contains an overview of the 9139B-PCA Probe Card Adapter, installation instructions, maintenance information, replaceable parts list, and information about supported probers.
Номер по каталогу: 9139B-901-01B
Model 9139B-PCA Probe Card Adapter Instruction
This manual contains an overview of the 9139B-PCA, installation instructions, maintenance information, parts list, and information about supported probers.
Номер по каталогу: 9139B-901-01B
Primary User
9139B Probe Card Adapter
The 9139B-PCA Probe Card Adapter is an option for Keithley’s S530 and S535 Parametric Test Systems and S500 Integrated Test Systems.  It also provides probe-card compatibility with Keithley’s previous generation S400 Parametric Test System.
Номер по каталогу: 1KW-61585-0
Техническая спецификация
ACS Basic Software Reference Manual The ACS Basic Reference Manual includes advanced operation topics, information regarding support…The ACS Basic Reference Manual includes advanced operation topics, information regarding support for Keithley's source and measure instrument products, and in-depth descriptions of programming commands.
Номер по каталогу: ACSBASIC-901-01G
Primary User
ACS Software Quick Start Guide The ACS Quick Start Guide describes installation information, basic connections, reviews basic…The ACS Quick Start Guide describes installation information, basic connections, reviews basic operation and hardware information, and how to perform a test.
Номер по каталогу: ACS-903-01E
Primary User
ACS Basic Software Quick Start Guide The ACS Basic Quick Start Guide describes installation information, basic connections,…The ACS Basic Quick Start Guide describes installation information, basic connections, reviews basic operation and hardware information, and how to perform a test. 
Номер по каталогу: ACSBASIC-903-01C
Primary User
S540 Power Semiconductor Test System Datasheet
S540 Parametric Test SystemThe Keithley S540 is a fully-automated, wafer-level parametric test system that can perform all high voltage, low voltage, low current, and capacitance tests up to 3kV in a single probe touch-down to maximize productivity and minimize cost of ownership.
Номер по каталогу: 1KW-60909-1
Техническая спецификация
S535 Multi-Site Wafer Acceptance Test System

Номер по каталогу: 1KW-61422-0
Техническая спецификация
S530/S530-HV Parametric Test Systems

Номер по каталогу: 1KW-60240-1
Техническая спецификация
Keithley Test Environment (KTE) Programmer's
This manual contains detailed descriptions of commands you can use with Keithley Test Environment (KTE) software to configure and control your parametric test system.
Номер по каталогу: S500-904-01B
Programmer
S530 Parametric Test System Administrative Guide
This document contains information about system options, site preparation and installation, equipment startup, maintenance, and example connection drawings.
Номер по каталогу: S530-924-01F
Primary User
S530-S535-S540 KTE 5.8.2 Release Notes
This document contains information on enhancements, critical and noncritical fixes, and known issues for each released version of the Keithley Test Environment (KTE) software.
Номер по каталогу: PA-1036V
Release Notes
S530 Parametric Test System Reference
This document contains information about system instruments, installation, getting started, using function libraries, software, frequency analysis, pulse generation, diagnostics and troubleshooting, and maintenance.
Номер по каталогу: S530-901-01B
Primary User
S535 Wafer Acceptance Test System Reference
This document contains information about system instruments, installation, getting started, using function libraries, software, dual-site operation, diagnostics and troubleshooting, and maintenance.
Номер по каталогу: S535-901-01B
Primary User
S535 Wafer Acceptance Test System Administrative Guide S535 Wafer Acceptance Test System Administrative Guide
This document contains information about system options, site preparation and installation, equipment startup, maintenance, and example connection drawings.
Номер по каталогу: S535-924-01B
Primary User
S540 Parametric Test System Reference S540 Parametric Test System Reference Manual
This document contains information about system instruments, installation, getting started, using function libraries, software, high-voltage C-V measurements, frequency analysis, pulse generation, diagnostics and troubleshooting, and maintenance.
Номер по каталогу: S540-901-01B
Primary User
S540 Parametric Test System Administrative Guide
This document contains information about system options, site preparation and installation, equipment startup, maintenance, and example connection drawings.
Номер по каталогу: S540-924-01D
Primary User
Загрузки
Загрузить

Загрузить руководства, технические описания, программное обеспечение и т. д.:

Go to top